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电子能谱仪ESCALAB 250 Xi (光电子能谱XPS) (ESCSLAB 250Xi)

设备型号:ESCSLAB 250Xi

负责人:吴正龙 58805597

联系人:吴正龙 58805597

所在地点:B区 > B-107房间

仪器预约



  • 名称电子能谱仪ESCALAB 250 Xi (光电子能谱XPS)
  • 资产编号1300216
  • 型号ESCSLAB 250Xi
  • 规格
  • 产地英国
  • 厂家ThermoFisher(热电,赛默飞)/ESCALAB 250Xi
  • 所属品牌ESCALAB 250Xi
  • 出产日期2012-12-27
  • 购买日期2012-12-27
  • 所属单位B区
  • 使用性质科研
  • 所属分类大型贵重仪器
  • 联系人吴正龙
  • 联系电话58805597
  • 联系邮箱wuzl@bnu.edu.cn
  • 放置地点B-107房间

主要规格及技术指标

(1)微聚焦单色化小束斑XPS(小面积XPS):单色X射线AlKαX射线,能量分辨高(≤0.5eV),空间分辨高(≤20μm),灵敏度高(Ag3d5/2峰强至2.5Mcps),样品损伤小,样品用量少;
(2)Mg/Al双阳极XPS:灵敏度高,分析速度快,可迅速获得样品表面大面积的平均信号。可对样品进行MgKα、AlKα两种X射线的交替XPS分析。最佳灵敏度达13Mcps;
(3)XPS深度剖析:计算机控制对中,旋转样品台,可提高深度分辨、消除阴影,对导体和非导体样品(磁性样品除外)进行深度剖析,类似俄歇电子能谱(AES)深度剖析;
(4)角分辨XPS (ARXPS):样品表面超薄层非破坏深度剖析;计算机程序控制-90~60°,角分辨率优于1°;
(5)化学组分成像(Mapping)分析:组分元素及其化学态空间二维分布,空间分辨小于等于3μm,成像速度快,实时还原所记录的谱图,更有利于样品表面组分元素及其化学态的微区分布分析研究;
(6)样品表面惰性离子清洁:大束斑清洁:Ar离子束能300eV~3keV,束流大于20μA;小束斑刻蚀清洁:低能离子能量连续可调100eV~4keV,栅格式扫描,束流密度至5mA/cm2。

主要功能及特色

(1)微聚焦单色化小束斑XPS(小面积XPS):高分辨表面元素及其价态分析;
(2)Mg/Al双阳极XPS:高灵敏度表面元素分析,成像分布,特殊分析;
(3)XPS深度剖析:薄膜材料和界面分析;
(4)角分辨XPS (ARXPS):超薄膜的无损伤分析;
(5)化学组分成像(Mapping)分析:元素及价态面分布;
(6)样品表面惰性离子清洁:清洁样品表面污染层;

样本检测注意事项

固态样品包括粉体样,不含水等挥发性物质。磁性样品需要预先声明。详见附件内容。

设备使用相关说明

按学校有关规定执行。

备注

http://202.112.94.18/Equipment/Show?Id=88a1881b-f61f-4bb7-aa26-461cbb449486