场发射扫描电子显微镜

生产厂商：日立高新技术株式会社（日本HITACHI）

型      号：Regulus 8100

放置地点：科技楼 B101

联系电话：010-58807295 / 58808268

性能指标 ：二次电子图像分辨率：0.8 nm@15 kV，1.1 nm@1 kV 

                 加速电压：0.5~30 kV ( 减速着陆电压 0.1~2 kV)

                 放大倍率：×20~1,000,000 

                 样品台控制：5 轴马达驱动

                 二次电子与背散射电子信号任意比例混合成像

功能及应用：纳米材料表面精细结构表征

                   半导体缺陷低电压分析，减少电子束损伤

                   绝缘材料直接观察（减速模式）

                   模拟背散射成像，实现成分对比分析

                   微区成分定点定量分析与元素面分布

仪器配置 ：冷场发射电子枪

                 二次电子高位和低位探测器

                 IXRF Model 550i 能谱仪