场发射扫描电子显微镜

生产厂商：日立高新技术株式会社（日本HITACHI）

型      号：S-4800

放置地点：科技楼 A106

联系电话：010-58807295 / 58808268

性能指标 ：二次电子图像分辨率：1.0 nm@15 kV，1.4 nm@1 kV 

                 加速电压：0.5~30 kV

                 放大倍率：×20~800,000 

                 样品台控制：3 轴马达驱动

                 二次电子与背散射电子信号任意比例混合成像

功能及应用：表面形貌观察与微区成分定性定量分析

                   纳米材料形貌表征与半导体缺陷检测

                   生物样品与环境污染物成分鉴定

                   涂层 / 薄膜截面结构与成分分析

                   模拟背散射成像，实现样品成分对比分析

仪器配置 ：冷场发射电子枪

                 二次电子高位和低位探测器

                 Horiba X-max 能谱仪