光电子能谱

生产厂商：美国赛默飞世尔科技有限公司

型      号：ESCALAB 250Xi

放置地点：科技楼 B107

联系电话：010-58805597

性能指标 ：分析室真空压力好于 200 nPa，制备室内真空样品好于 5000 nPa。

                 单色化 XPS：高分辨率下灵敏度 Ag3d5/2 计数率好于 40 kcps@0.5eV, 2500 kcps@1eV, 

                 最佳空间分辨 20μm。

                 XPS 深度剖析：扫描式 Ar 离子源，最高束流密度 5 mA/cm2 @3keV。

                 非单色化 XPS：Ag3d5/2 计数率 3000 kcps@1.35eV。

                 显微成像 XPS：最佳空间分辨 3μm。微区XPS 束斑 100μm

                 离子刻蚀：扫描式氩离子（Ar+）源，最高束流强度 6μA@3keV，最大扫描范围 5mm×5mm

功能及应用：主要功能：微聚焦单色化 Al Kα XPS，双阳极（Mg/Al）XPS，显微XPS，XPS 深度剖析，反射

                   电子能量损失谱（REELS），真空样品处理。

                   主要应用：表面化学分析（表面组分结构及元素价态分析），薄膜材料分析

仪器配置 ：单色化 Al Kα

                 X 射线源，双阳极 Mg/Al Kα

                 X 射线射线源，惰性气体离子源，双电子中和源，空气水敏感样品进样装置