场发射扫描电子显微镜

生产厂商：日本电子株式会社（日本JEOL）

型      号：JSM-F100

放置地点：科技楼 B101

联系电话：010-58807295 / 58808268

性能指标 ：二次电子图像分辨率：0.9 nm@15 kV，1.3 nm@1 kV 

                 加速电压：0.01~30 kV ( 减速着陆电压 0.01~30 kV) 

                 放大倍率：×10~1,000,000 ( 连续调节 )

                 样品台控制：5 轴马达驱动

                 无漏磁物镜

                 低真空模式

功能及应用：背散射电子成像，实现材料成分对比分析

                   支持磁性样品高分辨观察和分析

                   支持非导电 / 含水样品观察与分析

                   敏感材料超低电压观察，减少损伤

                   一键式快速成分定性和定量分析

仪器配置 ：浸没式肖特基 Plus 场发射电子枪

                 二次电子高 / 低位及背散射电子探测器

                 JEOL JED-2300 能谱仪

                 SEM 与 EDS 集成操作软件