场发射扫描电子显微镜

生产厂商：日立高新技术株式会社（日本HITACHI）

型      号：SU8600

放置地点：科技楼 A108

联系电话：010-58807295 / 58808268

性能指标 ：二次电子图像分辨率：0.6 nm@15 kV，0.7 nm@1 kV 

                 加速电压：0.5~30 kV ( 减速着陆电压 0.01~20 kV)

                 放大倍率：×20~2,000,000 

                 样品台控制：5 轴马达驱动

                 二次电子与背散射电子信号任意比例混合成像

功能及应用：超高分辨材料表征：如原子层材料、高端催化剂等

                   敏感材料分析：超低电压观察二维材料、有机半导体等

                   锂电池材料研究：配合气氛保护制样，实现原位观察

                   精确成分分析：支持超轻元素 (B、C、N、O) 高精度定量

                   模拟背散射成像，实现成分对比分析

                   磁性样品观察与分析

仪器配置 ：冷场发射电子源，支持柔性闪烁、阳极烘烤

                 二次电子高位和低位探测器

                 Oxford Ultim MAX 能谱仪

                 气氛保护制样系统